根据GB/T 3163-2007,真空度划分为如下几个典型的范围:
105Pa~102Pa 低(粗)真空
102Pa~10-1Pa 中真空
10-1Pa~10-5Pa 高真空(HV)
<10-5Pa 超高真空(UHV)
(慧朴科技,huiputech)
根据GB/T 3163-2007,真空度划分为如下几个典型的范围:
105Pa~102Pa 低(粗)真空
102Pa~10-1Pa 中真空
10-1Pa~10-5Pa 高真空(HV)
<10-5Pa 超高真空(UHV)
(慧朴科技,huiputech)