同轴流量测量
AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管型流量外壳。该系列测量每分钟高达 20 标准公升/每分钟 (SLPM) 的气流,同时产生 2.25" H2O 的最大压降。微桥芯片直接与气流接触,大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
坚固、通用的封装
坚固的塑料封装被设计为能承受最高 50 psi 的共模压力,且小型传感元件能承受 100 g 的冲击,而不会影响性能。所配备的“AMP”兼容连接器能在要求严苛的应用中提供十分可靠的连接。
内置信号调节
每个 AWM5000 传感器都包括可执行放大、线性化、温度补偿和气体校准的电路。无论流量范围 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校准气体(氮气、二氧化碳、一氧化二氮或氩气)如何,所有产品都可能达到 1 至 5 Vdc 的线性输出。主动激光可进行所有校准。
注意:产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
产品 | 信号调节 | 补偿温度范围 | 流量/压力范围 | 介质兼容性 |
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AWM5101VA | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 5.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5101VC | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 5.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5101VN | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 5.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5102VA | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 10.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5102VC | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 10.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5102VN | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 10.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5103VA | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 15.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5103VC | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 15.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5103VN | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 15.0 SLPM | 仅干燥气体 |
AWM5104VA | 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 20.0 SLPM | 仅干燥气体 |